(800*800mm),用于大尺寸氮化硅基板和氮化铝基板烧结,也可以用于大尺寸氮化铝静电卡盘烧结。
靶材:热压烧结或者热等静压烧结工艺,产品高致密,高纯度,用于溅射镀膜靶材(莱宝镀膜设备溅射阴极材料等),电子发射阴极等
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