采用热等静压,热压等工艺,用于生产熔点高,难烧结的陶瓷类靶材。目前生产的陶瓷靶材有:氮化铝,氮化硅,氮化硼,六硼化镧,六硼化铈,硼化钛,碳化硼等高纯度,高密度产品。

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