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热压陶瓷靶材

热压陶瓷靶材

采用热等静压，热压等工艺，用于生产熔点高，难烧结的陶瓷类靶材。目前生产的陶瓷靶材有：氮化铝，氮化硅，氮化硼，六硼化镧，六硼化铈，硼化钛，碳化硼等高纯度，高密度产品。

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